OTL-PECVD-1200PECVD rendszer, amely OTL1200 vákuumcsőkemencéből, kvarc vákuumkamrából, rádiófrekvenciás tápegységből, GX gázelátási rendszerből, gázszivattyítási rendszerből és vákuummező rendszerből áll.

Fő jellemzői:

1. Rádiófrekvenciás áramellátás segítségével a kvarc vákuum kamrában lévő gázokat ionolási állapotba alakítja.

2. A PECVD alacsonyabb hőmérsékletet igényel a kémiai gáz lerakodásához, mint a hagyományos CVD.

3. A rádiófrekvenciás áramellátás frekvenciája segítségével szabályozható a lerakodott film feszültségének mérete.

A PECVD magas a kémiai gáz-fázis lerakodási sebessége, jó egységessége, magas a konsistencia és a stabilitás, mint a hagyományos CVD.

5, széles körben alkalmazott: különböző vékony film növekedése, mint például: SiOx, SiNx, SiOxNy és szterotipatlan szilícium (a-Si: H) stb.

OTL-PECVD-1200 PECVD rendszer a svéd Kanthal ellenállási vezeték fűtési elem, kettős rétegű ház szerkezete és 30 szakasz programos hőmérő, fázisváltás indító, vezérlhető szilícium vezérlés, a kemence alumínium-oxid polikristályos szál anyag, a kemence cső két vége rozsdamentes acél flange tömítése, rozsdamentes acél flange szerelt légszáj, szelep és nyomásmérő, vákuum szivattyúzás esetén elérheti 10-3 Pa, hőmérsékleti egyensúly, alacsony felületi hőmérséklet, gyors hőmérséklet emelési sebesség, energiatakarékos, kedvező ár és egyéb előnyök

(3) ellenállás egyensúly, jó hőmérsékleti egyensúly

(4) Fűtési alkatrészek: Kanthal A1 importált vezeték Svédországban (2 éves garancia)

Az áramkör túláramlás vagy szivárgás esetén az üres nyitás automatikusan megszakad

A kemence kommunikációs interfészel és szoftverrel rendelkezik, amely közvetlenül a számítógépen keresztül vezérli a kemence különböző paramétereit, és megfigyelheti a kemence PV és SV hőmérsékleti értékeit és műszereinek működését a számítógépen, a kemence tényleges hőmérsékleti görbéjét valós időben felrajzolja a számítógép, és minden pillanatban mentheti a hőmérsékleti adatokat, bármikor beállíthatja a vákuumot.

(2) Japán technológia alkalmazása.

(3) Az ellenállási vezeték távolsága és távolsága a kemencében mind a japán legjobb hőműszaki technológia szerint van elrendezve, hőműszaki szoftver által szimulált hőmező

4. 4 hetes fűtés, kiegyensúlyozottabb hőmérséklet

(Az összes importált elektromos készülék UL tanúsítvánnyal rendelkezik)