Az XR-F001 mikrogáz tömegáramlási mérőt kifejezetten a különböző kis áramlású gázok mérésére és folyamat vezérlésére tervezték. Ez az érzékelősorozat fejlett mikroelektromechanikai rendszer (MEMS) áramlásérzékelő chipekkel készült, amelyek minden tiszta gáz típusához alkalmasak. Az egyedülálló csomagolási technológia lehetővé teszi a különböző csőátmérők használatát, alacsony költséggel, könnyen telepíthető, és nem igényel hőmérsékleti nyomáskompenzációt, és helyettesítheti a hagyományos áramlási mérőket térfogati vagy nyomáskülönbségben.