A Hitachi High-Tech 2016. április 15-én világszerte bemutatta az új szkennelő elektronmikroszkópot, a FlexSEM 1000-et. A termék kompakt felépítése, kis területet foglal el, de felbontása nem veszít nagy elektroszkópot, ugyanakkor a kezelés rendkívül egyszerű, szinte képzés nélkül működhet. Kompakt kialakítás 4 nm felbontással.
A szkennelő elektronmikroszkóp nagy nagyítási arányú megfigyelést és nagy pontosságú elemelemzést végez az anyagok felületén, és széles körben alkalmazható a nanotechnológia, az élettudományok, a terméktervezés és a hibaelemzés területén. Az utóbbi években egyre nagyobb igény van a szkennelő elektroszkópokra a finom felületi szerkezetek megfigyelésére és elemelemzésére, és egyre több felhasználó kíván szkennelő elektronmikroszkópot használni korlátozott területeken, például gyártósorokban, minőségbiztosítási sorokban és irodai területeken. Ezért a kis méretű, könnyen kezelhető és magas felbontású szkennelő elektronmikroszkópok nagy figyelmet szenvednek. A FlexSEM 1000 konzol 450 mm szélessége és 640 mm hosszúsága 52%-kal kevesebb, 45%-kal kevesebb súly, 50%-kal kevesebb áramfogyasztás, és szabványosított áramellátással rendelkezik. A fogadó és az áramellátó elválasztható, így a telepítés nagyon rugalmas.
A FlexSEM 1000 legújabb elektronikus optikai rendszerrel és nagy megbízhatósággal és érzékenységgel rendelkezik, akár 4 nm felbontással. A FlexSEM 1000 számos automatizálási funkcióval rendelkezik, amely egyszerűen kezelhető, így még az első üzemeltető is gyorsan képes kiváló minőségű képeket készíteni. Ezenkívül az újonnan kifejlesztett „SEM MAP” navigációs funkció különböző optikai vagy elektroszkópos képekkel navigálhat, és egy kattintással gyorsan és pontosan vált az érdeklődő nagy nagyítási sebességű látóterőre.

Jellemzők:

a. magas érzékenységű másodlagos elektronikus érzékelő, hátsó szórás érzékelő, alacsony vákuum érzékelő (UVD)^*2Kiváló minőségű képmegfigyelés alacsony gyorsulási feszültség / alacsony vákuum alatt

b. Egyszerű kezelés, hogy még az újoncok is kiváló minőségű képeket készítsenek

c. Az újonnan kifejlesztett „SEM MAP” navigációs funkció a látóterület gyors rögzítéséhez

Nagy ablak (30 mm)²SDD energiaspektrosztikus rendszer, amely gyorsan elemzi az elemek összetételét^*2

*1 Az asztali beállítás során elkülönítse a konzolt és az áramtatót

*2 Választható

Projektek		Tartalom
bontási képesség*3		4,0 nm @ 20 kV (SE: nagy vákuum mód) 15,0 nm @ 1 kV (SE: nagy vákuum mód) 5,0 nm @ 20 kV (BSE: alacsony vákuum mód)
Gyorsított feszültség		0.3 kV ～ 20 kV
Nagyosítás		6 x - 300 000 x (filmnagyítás) 16 x - 800 000 x (nagyítási arány megjelenítése)
Alacsony vákuum mód		Vákuum tartomány: 6-100 Pa
Elektronikus fegyverek		Pre-párosítás középső wolfram vezeték
mintasztal		3 tengelyes automatikus motorállomás X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
Maximális mintameret		átmérő80 mm
Maximális minta magassága		40 mm
Méret		Főgép: 450(W) x 640(D) x 670(H) mm Tápegység: 450(W) x 640(D) x 450(H) mm
Detektor opciók		Magas érzékenységű, alacsony vákuum másodlagos elektronikus érzékelő (UVD) Energia-diverziós röntgenérzékelő (EDS)